ZJSYS高真空三轴位移台

专为超高真空环境设计的精密物料传输平台，为真空工艺流程提供可靠、灵活的传输解决方案

公司简介

成都金士力科技有限公司专业从事真空、深低温、高温、辐照等极端环境的电机驱动、机械传动、运动控制等产品的研发、制造和应用。凭借多年的技术积累和行业经验，我们已成为极端环境运动控制解决方案的领先供应商。

核心产品：ZJSYS高真空三轴位移台

ZJSYS高真空三轴位移台是一款专为超高真空环境下的精密物料传输而打造的核心设备。它在-20℃至+200℃的温度范围及10^-5Pa的超高真空度下以卓越的通用性、稳定性和真空洁净度为多品种、高节奏的真空工艺流程提供了一个可靠、灵活的精密传输平台。

核心性能指标

• 工作温度范围：-20℃ 至 +200℃ • 真空度要求：10-5Pa 超高真空 • 运动性能：高速高精度三轴运动 • 结构材料：全304不锈钢结构

应用适应性

ZJSYS高真空三轴位移台，凭借其全不锈钢304结构、紧凑而高刚性的设计以及高速高精度的三轴运动，满足洁净度要求苛刻、通用性要求高，空间有限、节奏快，可靠性要求极高的应用场景，成为各种真空腔内进行产品输送、工位转换及精密对位的理想选择。

结构特点

• 全304不锈钢结构：抗腐蚀、易清洁、真空兼容性好 • 紧凑高刚性设计：空间优化，运动稳定性高 • 高洁净度保障：满足洁净室严苛要求 • 模块化设计：灵活适配各种应用需求

应用领域

• 半导体制造：晶圆传输、真空镀膜、刻蚀工艺中的物料输送 • 科研设备：同步辐射光源、电子显微镜、真空实验装置 • 精密光学：光学镀膜、镜头制造、精密光学加工 • 航空航天：航天器部件测试、真空环境模拟、特殊材料处理

为什么选择ZJSYS三轴位移台？

• 卓越的通用性：适应多品种、高节奏的真空工艺流程需求 • 极致的稳定性：在极端环境下保持长期稳定运行 • 优异的真空洁净度：满足最严苛的洁净度要求 • 灵活的空间适应性：紧凑设计适应有限空间，同时保持高刚性

真空传输技术的革新之作

ZJSYS高真空三轴位移台不仅仅是物料传输设备，更是真空工艺自动化的核心组成部分。它将高速、高精度、高洁净度和极端环境适应性完美融合，为现代高端制造和前沿科学研究提供了可靠的传输保障。

在真空的极致环境中，实现精密的无限可能！